신지덤

  1. 신기술
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MEMS

개념
MEMS (Micro Eletro Mechanical System)

I. MEMS

     마이크로미터(100만분의 1m) 크기(micro)의 전자적(electro), 기계적(mechanical) 요소들이 결합된 장치(system)


II. MEMS 특징

     전자와 기계의 융합장치, 초소형 시스템, 반도체 공정을 사용


III. MEMS의 구성기술
  1) MEMS 가공기술 : 표면미세 가공(surface micromachining),몸체 미세가공(bulk micromachining),나노머시닝(nanomachining)
  2) MEMS 설계기술 : MEMS 설계에서는 실장밀도와 정밀도 향상 측면에서 전기회로와 MEMS 구조의 융합이 필수
  3) MEMS 요소기술 : 실리콘기술, 유기소재 기술,패키징 기술
  4) MEMS 응용기술 : MEMS 디바이스(정보통신, 자동차,의료,모바일 등)


 

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